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書籍名 '99ULSIプロセス新技術シンポジウム
0.13μm〜サブ0.10μm時代の主導を握るリソグラフィ技術の最前線と今後の課題
No.330999211
本体価格24,000円+消費税
定価 ¥24,000
発行日など 1999年9月発行  B5版  86ページ  
目次 送料別途

●デバイス技術の将来と次世代リソグラフィ技術の課題  
●ArFエキシマレーザ・リソグラフィ露光装置と今後の課題 
●ArFリソグラフィ用レジストの最新動向
  〜プロセス技術サイドから見た最新動向〜
●ArFエキシマレーザ・リソグラフィとフォトレジスト技術
  〜材料技術サイドから見た最新動向〜
●ArF世代のマスタ技術課題  
●EBリソグラフィ技術の現状と今後の課題  
●EUVリソグラフィ研究の現状と今後の課題 
●W線リソグラフィ技術の課題と展望


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