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書籍名 半導体Al配線におけるマイグレーション現象とその試験・抑制法(増補・改定版)
本体価格23,000円+消費税
定価 ¥23,000
発行日など 1995年11月発行  A4版  184ページ  
目次 送料別途

1.半導体AL配線の特徴

2.エレクトロマイグレーション現象

3.エレクトロマイグレーションの寿命の式

4.エレクトロマイグレーションの現象例

5.エレクトロマイグレーションの試験方法

6.エレクトロマイグレーションの抑制方法

7.AL多層配線におけるエレクトロマイグレーション

8.エレクトロマイグレーションの信頼性評価手法

9.ストレスサーマルマイグレーション

10.ULSI配線技術


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